784점 / 1,927억원
ZEUS 등록기준(3천만원 이상, 2026. 7. 기준)
| 활용분야 | 장비현황 |
|---|---|
| 광통신부품(chip 제작) | PECVD 등 122점(383억원) |
| LED(chip 제작) | Mask Aligner 등 84점(183억원) |
| 광통신/LED 패키징 | Laser welder등 114점(174억원) |
| 광응용 | LC filling machine등 126점(279억원) |
| 시험인증 및 교정 | SEM 등 88점(246억원) |
| 조명실증 | Vibration tester등 97점(197억원) |
| 초정밀광학렌즈 | High speed 3D scanner등 89점(374억원) |
| 광의료 | Screen printer등 64점(91억원) |
신청서
및 사용료 확인
장비 활용
및 사용료 납부
