1,223㎡
청정도 1,000~10만 클래스
에피성장, 초정밀 가공
495㎡
청정도 10만 클래스
조립패키징 후가공
3,208㎡
청정도 10~1만 클래스
광통신ㆍLEDㆍ광응용